第 7 课：FAB 安全规范与 EPC/ESD 基础
一、本课学习目标
了解 FAB 现场安全基本规则，不违规、不添乱
理解 ESD 静电防护对机台与 EAP 工作的意义
搞懂 EPC 基础概念，知道 EAP 在其中的作用
建立 “安全第一、联锁不能随便短接” 的职业意识
二、FAB 通用安全规范（EAP 进现场必懂）
- 洁净室与着装规范
必须穿无尘衣、无尘鞋、无尘帽、口罩、手套
禁止化妆、喷香水、带纸屑、手机不随意拿出
不在机台旁吃喝、奔跑、敲击机柜 - 安全门禁与区域
机台区域分：生产区、设备维护区、电气柜区
非授权禁止打开电气柜、触碰接线端子
黄光灯区（光刻区）禁止开白灯、禁止拍照 - 化学品与特种风险
FAB 常见风险：强酸强碱、有毒气体、易燃易爆气体
闻到异味、看到冒烟、漏液立刻撤离并通报
EAP 只处理软件 / 通信，绝不私自操作气路、药液、阀门 - 高压、真空、高温安全
机台真空腔、高温腔、高压电源区域禁止倚靠
维护时必须确认泄压、降温、断电
EAP 看到安全报警，严禁强制绕过逻辑继续跑货 - EPO 紧急停止按钮
EPO = Emergency Power Off
红色大按钮，按下后机台立刻急停
非紧急绝对不按，误按会导致整台机 abort、wafer 报废
三、ESD 静电防护基础（非常重要） - 什么是 ESD
ESD：ElectroStatic Discharge 静电放电
人体静电几千伏，肉眼看不见，但能击穿传感器、电路板、控制器
机台的通信板、I/O 板、传感器非常怕 ESD - EAP 相关 ESD 要求
接触机台控制器、网线、串口、模块前，必须佩戴静电手环并接地
插拔网线、重启工控机时，避免触碰金属针脚
禁止在机台旁快速脱穿衣服、摩擦产生静电 - ESD 对 EAP 工作的影响
ESD 损坏后会出现：通信莫名中断、I/O 乱跳、机台无故报警、网口损坏
这类问题最难排查，表现为间歇性、随机性故障
四、Interlock 联锁安全逻辑 - Interlock 是什么
机台的安全保护逻辑：条件不满足就禁止动作
例如：
安全门打开 → 禁止机械手动作
真空未到 → 禁止启动工艺
气压异常 → 禁止进片 - EAP 必须遵守的原则
联锁是保护，不是障碍
绝对不能：
要求设备工程师短接联锁
在软件里强制屏蔽联锁信号
联锁未解除强行下发 Run 命令 - EAP 与联锁的关系
EAP 只读取联锁状态，不直接控制联锁
状态为 “联锁触发” 时，EAP 应自动拒绝任务、上报报警
五、EPC 基础概念（EAP 必知） - EPC 是什么
EPC：Engineering Process Control 工程过程控制
简单理解：对机台加工过程进行监控、约束、防错 - EPC 的核心目的
防止参数超范围
防止跑错 Recipe
防止在异常状态下继续加工
避免 wafer 批量报废 - EAP 在 EPC 里的角色
接收并校验 Recipe 参数
监测机台状态是否满足加工条件
异常时阻止启动、终止 Run、上传报警
把关键数据上传给系统做判断
六、本课必须记住的 3 条铁律
进机台旁先做 ESD 防护，不碰急停按钮，不短接联锁。
联锁报警优先处理，EAP 不能强制绕过安全逻辑。
EAP 是自动化控制，也是安全守门员，异常先停再查。
七、课后小作业
写出 ESD、EPC、EPO 的中文全称
说出 2 条进入 FAB 机台区域的安全要求
说明 EAP 为什么不能随便屏蔽联锁信号
