张小明
前端开发工程师
阐述数学化学方程如何影响和关联其他数学物理方程式，以解决1-3nm节点中的关键问题。
编号 | 类型 | 数学化学领域 | 技术子领域 | 数学物理分析核心 | 数学方程式及参数列表及数字/数值 | 误差/公差/期望/统计数学方程式 | 应用场景和应用方法及步骤及详细的工程工艺的所有数值/数字/时序及每个时序的数值/数字列表 | 关联知识 |
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6 | 光刻与图案化 | 光学、光化学 | 极紫外（EUV）光刻成像 | 光刻成像模型（霍普金斯方程）、光致酸扩散（PAG）反应动力学 | 部分相干成像（霍普金斯方程）：I(x,y)=∬TCC(f′,g′;f′′,g′′)O~(f′,g′)O~∗(f′′,g′′)ei2π[(f′−f′′)x+(g′−g′′)y]df′dg′df′′dg′′，其中TCC为传输交叉系数，描述照明和投影系统的相干性。 |
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李华
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李华
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